-
a feature-scale greenwood–williamson model for metal chemical mechanical planarization
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 949
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
in this work, a new feature-scale model is proposed for investigating the interaction between the wafer pattern and individual pad asperities in the process of chemical mechanical planarization (cmp). based on the contact mechanics equation and the modified greenwood–williamson (gw) model which captures the evolution of feature curvature and the modification of the pad asperity height distribution, the discrete convolution and fast fourier transform (dc-fft) technique is adopted and combined with the picard iteration method to calculate the direct contact pressure distribution between the wafer surface and the polishing pad. the computed pressure is then used to determine the local removal rate of the underlying patterns and predict the evolution of the wafer surface profile. furthermore, the method is extended to capture the metal dishing as the feature size changes. it is shown that the present model can avoid the false simulated results produced by directly applying the original gw model for cmp when the feature size approaches zero. otherwise, the calculated surface profile and dishing values of pattern geometries are in good agreement with the experimental data. therefore, this model can not only be used to simulate the evolution of the wafer surface for global planarization at lower technology nodes, but can also be applied to provide some basic design rules for improving the process parameters and reducing the time and cost for developing new architectures.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
یادگیری شبکه های عصبی در یک مسئله کنترل بهینه چند هدفه
-
توسعه مجدد بافت های فرسوده و اراضی سوخته در ایران (نمونه موردی: کلان شهر شیراز)
-
تخمین عمق آبشستگی ناشی از جت پیش هوادهی شده با استفاده از هوش مصنوعی
-
اثر مقادیر مختلف زرده تخم مرغ در پوشش دار کردن اسپرم قوچ تالشی طی نگهداری در دمای محیط
-
معرفی ژئوسنتتیک ها و بررسی خصوصیات و کاربرد آنها در مهندسی عمران
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
محاکات و روایت از دیالوگ های افلاطون تا درام های خواندنی مدرن
-
ارائه مدل تصادفی به منظور بهینه سازی سطوح موجودی تک لایه ای دو گره زنجیره تامین (فروشگاه، مراکز توزیع) برای اقلام فاسدشدنی و فاسدنشدنی با استفاده از الگوریتم ژنتیک
-
تاثیر بازاریابی نوآورانه بر وفاداری به برند با نقش واسطه ای رضایت مشتری (مورد مطالعه: مشتریان برند اپل)
-
بررسی تاثیر آموزش آداب و مهارت های زندگی اسلامی بر راهبردهای یادگیری خودتنظیمی، سبک های هویتی و رشد اخلاقی دانش آموزان
-
تأثیر تمرینات هوازی در آب و تمرینات تعادلی بر ناتوانی جسمانی و سلامت روانی زنان مبتلا به ms
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :