-
influence of anionic polyelectrolyte addition on ceria dispersion behavior for quartz chemical mechanical polishing
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 1137
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
in this study, the effect of anionic dispersant, poly(acrylic acid-co maleic acid) sodium salt on ceria (ceo2) slurry stability was investigated for quartz chemical mechanical polishing (cmp) applications. the properties of the ceria slurry, including ph, viscosity, and stability behavior as a function of dispersant concentrations (0.1, 1, 3 and 5 wt%), were characterized to identify optimized conditions for the polishing process. with the addition of dispersant, the ph of ceria slurry increased to an alkaline regime which is compatible for quartz cmp processing while the viscosity sharply increased at 5 wt%. the stability results show that the slurry is stable only at 3 wt%, whereas the particles become agglomerated and settle quickly at all other dispersant concentrations. adsorption and electrokinetic behavior of the ceria slurry were measured to understand the ceria slurry behavior at various dispersant concentrations. at low concentrations, the dispersant does not protect the particles enough to overcome the van der waals attraction forces, whereas, at higher concentrations, particle agglomeration occurs due to bridging flocculation. at the optimum concentration, the dispersant provides enough steric hindrance to overcome the attractive force. in addition, the presence of sodium ions in the dispersant also strongly influences the settling behavior of ceria particles. the polishing test showed that the desired removal rate and surface quality could be achieved with the optimized slurry.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی تاثیر آلودگی ایجاد شده ضایعات و زباله های کارخانه سیمان خاش بر آلودگی محیط زیست
-
موانع سازمانی اجرای نظام پیشنهادات در سازمان تامین اجتماعی اصفهان
-
تعیین تقویم مناسب گردشگری در مناطق آزاد ایران با کاربرد شاخص (pet)
-
green’s function for fractional differential equation with hilfer derivative
-
(seismic hazard assessment for the itoiz dam site (western pyrenees, spain
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
تأثیر غلظت های مختلف توفوردی و محیط کشت ms بر کالوس زایی قطعات گره دار .rosa canina l
-
آموزش اثربخشی ذهن آگاهی بر سرمایه روان شناختی، شادکامی و رضایت از زندگی در زنان خانه دار
-
ارتباط بین ساختار سرمایه با ارزش افزوده نقدی
-
شناخت رابطه بین آگاهی از مقررات راهور و پیشگیری از وقوع جرایم رانندگی: مطالعه موردی شهر کرمانشاه
-
morphological and gis-based land use analysis: a critical exploration of a rural neighborhood
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :