-
in situ characterization of triboelectrochemical effects on topography of patterned copper surfaces
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 770
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
the topographic response of patterned copper surfaces to chemical–mechanical polishing (cmp) was investigated using a triboelectrochemical approach. experimental methods include using a combined system containing a tribometer and a potentiostat. results showed that more step height reduction and lower average surface roughness were obtained via cmp in acidic than in alkaline slurry. the increased contact area between wafer, pad, and abrasives was associated with the increase in friction. it was found that ph-dependent oxide formation and removal dominate the step height reduction for both acidic and alkaline slurries. the in situ approach pinpointed interactions between mechanical stimulation, chemical reaction, and electrochemical passivation. this research is beneficial to understanding triboelectrochemistry in cu chemical–mechanical polishing of patterned wafers, an important application in semiconductor manufacturing.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی تأثیر ملاتونین بر افسردگی ناشی از دیابت القاء شده با استرپتوزوتوسین در موش صحرائی
-
بررسی فراوانی ژیاردیازیس در کودکان مهدکودک های شهر رفسنجان در سال 1383
-
بررسی مسائل ژئوتکنیک کانال اصلی خداآفرین و راهکارهای علاج بخشی
-
ارائه شاخص یکپارچه برای ارزیابی خشکسالی (مطالعه موردی: زیر حوضه کوهپایه – سگزی)
-
experimental investigation of interaction between surface shallow water waves and floating plates
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
بررسی تأثیر حمایت سازمانی ادراک شده بر عملکرد شغلی معلمان مقطع متوسطه
-
مدلی برای شناسایی تاثیر پیشایندها و پیامدهای تعیین هویت مصرف کننده از طریق برند در شهرستان انزلی (مورد مطالعه: برندهای تلفن همراه)
-
اصول و شرایط حقوقی انعقاد قراردادهای آتی نفت در عرصه بین الملل
-
بررسی نقش فناوری اطلاعات در آموزش درس ریاضی
-
بررسی پیرامون مواد 47 و 48 قانون ثبت اسناد و املاک
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :