-
recycling of sicl4 in the manufacture of granular polysilicon in a fluidized bed reactor
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/01/01
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/01/01
- تعداد بازدید: 594
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
a process that used chemical vapor deposition (cvd) from the mixture of trichlorosilane (sihcl3) and silicon tetrachloride (sicl4) for the production of polysilicon granules in a fluidized bed reactor (fbr) was studied. the effects of the reaction temperature (800–1200 °c), molar ratio of h2 to sihcl3 and sicl4, and sihcl3 fraction in the mixture of sihcl3 and sicl4 (0–100%) were studied. the reactant gas was analyzed by a gas chromatography (gc). the surface morphology of the product particles were analyzed by scanning electron microscopy. well grown product particles were obtained. the reaction temperature and reactant composition significantly affected the si yield and the amount of produced sicl4 per kg deposited si. the results showed that zero net by-production of sicl4 could be realized by using the mixture of sihcl3 and sicl4 as reactant in a fbr while a satisfactory si yield was remained. a suitable reaction condition for this was 1200 °c and molar ratio h2/sihcl3/sicl4 was 16/0.5/0.5. the corresponding one-through sihcl3 conversion and si yield were 21.1% and 9.6%, respectively, which were higher than the improved siemens technology using pure sihcl3.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی موانع محاسبه ی بهای تمام شده خدمات در دانشگاه علوم پزشکی شهید بهشتی
-
بررسی میزان شیوع برخی از عوامل مولد اسهال با تأکید بر انگل کریپتوسپوریدیوم در کودکان مراجعه کننده به بیمارستان مرکز طبی کودکان تهران، 1382-1381
-
بررسی تاثیر محافظه کاری در حسابداری بر هزینه سرمایه
-
nonlinear juvenile predation population dynamics
-
numerical and analytical modeling of orthogonal cutting: the link between local variables and global contact characteristics
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
چابکی سازمانی، کیفیت زندگی کاری و مدیریت الکترونیک ارتباط با مشتریان
-
بررسی نقش حسابرسان داخلی بر شفافیت صورت های مالی بانک های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
طراحی مدلی برای شناسایی فرصت های کارآفرینی در مناطق بندری
-
بررسی رابطه بین باورهای معنوی و ویژگی های شخصیتی پرستاران شهر تهران
-
اخلاق و فرهنگ در حسابداری
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :