محبوبترین نویسندگان :
نویسندگان مقالات پربازدید :
اولین همایش ملی فن آوری در مهندسی کاربردی
جزئیات رویداد
همایش ، رویداد ، ژورنال
اینستاگرام تی پی بین
حوزه های تحت پوشش رویداد

  • سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مُدی

    نویسندگان :
    کلمات کلیدی :
    جزئیات بیشتر مقاله
    • تاریخ ارائه: 1395/11/05
    • تاریخ انتشار در تی پی بین: 1395/11/05
    • تعداد بازدید: 540
    • تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
    • شماره تماس دبیرخانه رویداد: -

    در این مقاله دو سنسور فشار میکروالکترومکانیکی مبتنی بر تکنولژی mems گزارش می شود. ابعاد این ساختارها برابر 400μm*20μm*20μm است. اما ابعاد غشاهای آن برای تولید مُد موجی برابر  200μm*20μm*2μm  می باشد به عبارتی ضخامت غشا2μm  است. مُد موجی سنسور دو غشایی تحت اعمال فشار0-600mpa  جابجایی فرکانسی 2/18 mhz را دارا می باشد اما سنسور فشار تک غشایی میکروالکترومکانیکی تحت همان اعمال فشار جابجایی فرکانسی معادل 2/75 mhz  را دارد. فرکانس ارتعاش مُد موجی بیست و ششم در سنسور فشار میکرو الکترومکانیکی تک غشایی 120/99 mhz و در سنسور فشار دو غشایی 118/29 mhz است. این سنسورها در نرم افزار ansys طراحی و شبیه سازی شده اند.

سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :

با انتخاب دکمه ثبت پرسش، موافقت خود را با قوانین انتشار محتوا در وبسایت تی پی بین اعلام می کنم
مقالات جدیدترین رویدادها
مقالات جدیدترین ژورنال ها