-
بررسی پایداری دمایی لایه آمورف نیترید تنگستن/تنگستن سنتز شده به روش تبخیرگرمایی و محاسبه ضریب نفوذ مس در سیلیکون از میان لایه مانع نفوذ نیترید تنگستن/تنگستن
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1395/11/05
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1395/11/05
- تعداد بازدید: 454
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
لایه آمورف نیترید تنگستن/تنگستن با پایداری گرمایی بالا به روش تبخیرگرمایی روی زیر لایه سیلیکون / اکسید سیلیکون نشانده شد. لایه نیترید تنگستن در تکنولوژی بسیار حائز اهمیت است. این لایه دارای مقاومت الکتریکی پایین است و مانع خوبی برای جلوگیری از نفوذ مس در سیلیکون و یا اکسید سیلیکون بشمار می رود. پایداری گرمایی نمونه ها توسط پراش اشعه ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی مورد بررسی قرار گرفت. برطبق نتایج پراش اشعه ایکس فاز عایق سیلیسید مس در دمای 800 درجه سانتی گراد تشکیل می شود که تشکیل آن به معنای نفوذ مس از میان لایه مانع نفوذ نیترید تنگستن/تنگستن است که افزایش ناگهانی مقاومت الکتریکی را در پی داشته و کارایی لایه نیترید تنگستن/تنگستن را با شکست مواجه می سازد. بخش عمده نفوذ مس در سیلیکون از طریق مرزدانه های ناخواسته ای است که در مراحل آنیل لایه آمورف نیترید تنگستن/تنگستن با تغییر فاز آن از آمورف به پلی کریستالین رخ داده است. نتایج میکروسکوپ نیروی اتمی، افزایش زبری سطح نمونه ها را در دماهای بالا نشان می دهد. اندازه دانه ها نقش مهمی را درکنترل پایداری دمایی لایه نیترید تنگستن/تنگستن ایفاء می کند.
حوزه های تحت پوشش رویداد
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
همرشدی فیبرولیت- بیوتیت در سنگهای رسی دگرگون شده کمپلکس ماهنشان، شمال غرب ایران
-
تحلیل مقایسه ای کارایی بخش صنایع بزرگ در استان های ایران در برنامه های توسعه بعد از انقلاب با استفاده از روش تابع مرزی تصادفی
-
نتایج استقرار سیستم dma در شبکه آب و تخمین میزان نشت در منطقه (مطالعه موردی: زون حمزه آباد آبفای منطقه 6 شهر تهران)
-
development of a design space for a unit operation: illustration using compression-mix blending process for the manufacture of a tablet dosage form
-
a study of the frictional properties of senofilcon-a contact lenses
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
بازپروری کودکان و نوجوانان محروم از آزادی
-
کاربرد پژوهش عملیاتی در مدیریت زنجیره تامین
-
بهبود کارایی کارکنان به واسطه استفاده از اتوماسیون اداری
-
عشق : یک مفهوم و سه درک استعاری (بررسی و تحلیل نظام استعاره های مفهومی در سوانح العشاق)
-
بررسی تأثیر شخصیت برند و ارزش ادراک شده بر وفاداری مشتریان
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :