-
investigations on a multiple mask technique to depress processing-induced damage of icp-etched hgcdte trenches
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 730
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
a multiple mask technique, integrating patterned silicon dioxide ( sio2) film over patterned thick photoresist (pr) film, has been investigated as a method to perform mesa etching for device delineation and electrical isolation of mercury cadmium telluride (hgcdte) third-generation infrared focal-plane arrays. the multiple mask technique was achieved by standard thick pr photolithography, sio2 film deposition to cover the thick pr patterned film, and etching the sio2 film at the bottom region after another photolithography process. the dynamic resistance in the zero-bias and low-reverse-bias regions of hgcdte photodiode arrays isolated by inductively coupled plasma (icp) etching with the multiple mask of patterned sio2 and patterned thick pr film underneath was improved one- to twofold compared with a simple mask of patterned sio2. it is suggested that the multiple mask technique is capable of maintaining high etching selectivity while reducing the side-wall processing-induced damage of icp-etched hgcdte trenches. the results show that the multiple mask technique is readily available and shows great promise for etching hgcdte mesa arrays.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
اصول طراحی ساختمان های مسکونی در بافت شهری با رویکرد ویژه بر پدافند غیرعامل
-
نقش بازآفرینی شهری در توسعه پایدار شهری
-
تاثیر افسردگی بر برخی از پارامترهای ایمنولوژیک مادران باردار و نوزادان آنها در مرکز آموزشی درمانی طالقانی اراک
-
تحلیل و مقایسه ی چهره ی انوشیروان در شاهنامه و منابع تاریخی
-
experiences and challenges of tunnelling
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
مسئولیت اجتماعی شرکتی و ریسک فساد: چشم انداز جهانی
-
ارائه الگوهای پیش بینی کننده طلاق عاطفی در زوجین شهر کرمانشاه
-
گونه هایی از عناصر داستانی منظومه ویس و رامین اثر فخرالدین اسعد گرگانی
-
واکاوی رویکرد کارشناسانه در احراز رابطه استناد
-
efficiency of aptenia cordifolia mucilage in removal of anion dyes from aqueous solution
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :