• خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز: بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی

    جزئیات بیشتر مقاله
    • تاریخ ارائه: 1392/12/02
    • تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/12/02
    • تعداد بازدید: 375
    • تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
    • شماره تماس دبیرخانه رویداد: -

    در این تحقیق، در مرحله اول ابتدا لایه های نازک آلومینیوم با ضخامت 70 نانومتر با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی dc تحت شرایط انباشت یکسان بر روی زیر لایه های کوارتز انباشت شده و سپس با استفاده از دستگاه کندوپاش مغناطیسی استوانه ای، لایه های آلومینیوم در زمان های متفاوت تحت تاثیر پلاسمای نیروژن قرار گرفته و سپس با استفاده از کوره حرارتی، لایه های بدست آمده در دمای 600 درجه سانتی گراد به مدت 5 ساعت بازپخت حرارتی شده اند. برای بررسی خواص ساختاری و مورفولوژیکی لایه های بدست آمده از آنالیزهای afm, xrd استفاده شده است. نتایج حاصل از xrd نشان می دهد که قبل و بعد از بازپخت فقط فاز آلومینیوم دیده میشود، با این تفاوت که قبل از بازپخت راستای کریستالی (111) بوده و پس از بازپخت راستای کریستالی به (220) تغییر می کند. نتایج حاصل از afm نشان می دهد که مقدار زبری متوسط و rms سطح لایه ها، قبل از عملیات بازپخت حرارتی حالت، با افزایش زمان پلاسما دهی کاهش یافته و پس از بازپخت افزایش یافته است.

سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :

با انتخاب دکمه ثبت پرسش، موافقت خود را با قوانین انتشار محتوا در وبسایت تی پی بین اعلام می کنم
مقالات جدیدترین رویدادها
مقالات جدیدترین ژورنال ها